Гранитните воздушни лежишта се широко користени воултра-прецизностподвижни платформи за производство на полупроводници, оптичко усогласување и метрологија на нанометриски размер.
Овие системи го елиминираат механичкиот контакт со користење на тенок филм од воздух под притисок, постигнувајќи движење на триење речиси нула.
Принцип на воздушно лежиште
Воздушните лежишта работат со воведување на компримиран воздух помеѓу две површини, формирајќи воздушен филм од 2–20 μm.
Ова елиминира:
- Механичко триење
- Носете
- Однесување на лепење-лизгање
Системот се потпира на динамика на флуиден филм и стабилен ламинарен проток.
Улога на гранит
Гранит нуди:
- Структурна стабилност
- Супресија на термичкото потиснување
- Придушување на вибрации
Служи како механичка референтна основа за системот за движење.
Компоненти на системот
- Гранитна основа
- Воздушни влошки со лежишта
- Систем за снабдување со воздух
- Прецизни енкодери
- Систем за контрола на движење
Карактеристики на перформансите
Типичните перформанси вклучуваат:
- Точност на позиционирање под микрон
- Висока правост при долго патување
- Нула механички отпор
Клучните извори на грешки вклучуваат нестабилност на воздушниот притисок, термичко поместување и грешка на кодерот.
Апликации
- Инспекција на полупроводнички плочки
- Литографски системи
- Платформи за оптичко усогласување
- Висококвалитетни метролошки машини
Најчесто поставувани прашања
Дали се истрошуваат воздушните лежишта?
Отсуството на механички контакт го елиминира абењето.
Зошто да се користи гранит?
За стабилност и амортизација на вибрации.
Што ја ограничува точноста?
Стабилност на воздухот и термички ефекти.
Можат ли да носат тешки товари?
Да, во зависност од дизајнот.
Време на објавување: 03 јули 2026