Гранитот е тврд и издржлив материјал кој често се користи во градежната индустрија.Сепак, тој исто така има својства што го прават корисен во производството на полупроводници, особено во производството и обработката на интегрираните кола.Гранитните компоненти, како што се гранитни маси и гранитни блокови, се широко користени поради нивната стабилност, плошноста и нискиот коефициент на термичка експанзија.
Една од примарните употреби на гранитни компоненти во производството на полупроводници е во процесот на изработка.Силиконските наполитанки, основните градежни блокови на интегрираните кола, треба да се изработуваат со висока прецизност и точност.Секое изобличување или движење во текот на процесот може да доведе до дефекти кои можат да влијаат на квалитетот и функционалноста на интегрираните кола.Гранитните маси, со нивната висока стабилност и плошност, обезбедуваат добра платформа за опремата за обработка на нафора.Тие се исто така отпорни на термичка експанзија и контракција предизвикана од загревањето и ладењето што се бара во процесот.
Гранитните блокови се користат и во полупроводничка обработка заради нивната термичка стабилност.За време на процесите на офорт или таложење, топли гасови или плазми се користат за да се измени површината на силиконската обланда.Температурата на нафората треба да се контролира за да се осигура дека процесот се изведува ефикасно и прецизно.Гранитните блокови, со нивниот низок коефициент на термичка експанзија, помагаат да се стабилизира температурата на обландата, намалувајќи го ризикот од температурни флуктуации кои би можеле да влијаат на квалитетот на обработениот материјал.
Покрај процесите на производство и обработка, гранитните компоненти се користат и во метрологијата и инспекциските фази на производството на полупроводници.Метролошките мерења се направени за да се осигура дека големината, обликот и положбата на структурите на нафората се во рамките на бараните спецификации.Гранитните блокови се користат како референтни стандарди во овие мерења поради нивната димензионална стабилност и точност.Тие се користат и во фази на инспекција, каде што квалитетот на интегрираните кола се проверува при големо зголемување.
Севкупно, употребата на гранитни компоненти во производството на полупроводници се зголеми во последниве години.Потребата за висока прецизност, точност и стабилност во производството и обработката на интегрираните кола го поттикна усвојувањето на овие материјали од страна на производителите на полупроводници.Уникатните својства на гранитот, како што се неговата цврстина, стабилност и нискиот коефициент на термичка експанзија, го прават одличен избор за употреба во овие процеси.Со континуираниот развој и подобрување на технологијата на полупроводници, употребата на гранитни компоненти се очекува дополнително да расте во иднина.
Време на објавување: Декември-05-2023 година