Гранитот е тврд и издржлив материјал кој често се користи во градежната индустрија. Сепак, тој има и својства што го прават корисен во производството на полупроводници, особено во изработката и обработката на интегрирани кола. Гранитните компоненти, како што се гранитните маси и гранитните блокови, се широко користени поради нивната стабилност, рамност и низок коефициент на термичка експанзија.
Една од основните употреби на гранитните компоненти во производството на полупроводници е во процесот на изработка. Силициумските плочки, основните градежни блокови на интегрираните кола, треба да се изработуваат со голема прецизност и точност. Секое нарушување или движење за време на процесот може да доведе до дефекти што можат да влијаат на квалитетот и функционалноста на интегрираните кола. Гранитните маси, со нивната висока стабилност и рамност, обезбедуваат добра платформа за опремата за обработка на плочки. Тие се исто така отпорни на термичка експанзија и контракција предизвикани од греењето и ладењето потребни во процесот.
Гранитните блокови се користат и во обработката на полупроводници поради нивната термичка стабилност. За време на процесите на гравирање или таложење, се користат топли гасови или плазма за модифицирање на површината на силициумската плочка. Температурата на плочката треба да се контролира за да се обезбеди дека процесот се спроведува ефикасно и прецизно. Гранитните блокови, со нивниот низок коефициент на термичка експанзија, помагаат да се стабилизира температурата на плочката, намалувајќи го ризикот од температурни флуктуации што би можеле да влијаат на квалитетот на обработениот материјал.
Освен во процесите на производство и преработка, гранитните компоненти се користат и во метролошките и инспекциските фази на производството на полупроводници. Метролошките мерења се прават за да се осигури дека големината, обликот и положбата на структурите на плочата се во рамките на потребните спецификации. Гранитните блокови се користат како референтни стандарди во овие мерења поради нивната димензионална стабилност и точност. Тие се користат и во фазите на инспекциски преглед, каде што квалитетот на интегрираните кола се проверува под големо зголемување.
Генерално, употребата на гранитни компоненти во производството на полупроводници се зголеми во последниве години. Потребата за висока прецизност, точност и стабилност во изработката и обработката на интегрирани кола го поттикна усвојувањето на овие материјали од страна на производителите на полупроводници. Уникатните својства на гранитот, како што се неговата тврдост, стабилност и нискиот коефициент на термичка експанзија, го прават одличен избор за употреба во овие процеси. Со континуираниот развој и подобрување на полупроводничката технологија, се очекува употребата на гранитни компоненти дополнително да расте во иднина.
Време на објавување: 05.12.2023