Во клучната алка на производството на чипови - скенирањето на плочки, точноста на опремата го одредува квалитетот на чипот. Како важна компонента на опремата, проблемот со термичката експанзија на основата на гранитната машина привлече големо внимание.
Коефициентот на термичка експанзија на гранитот обично е помеѓу 4 и 8×10⁻⁶/℃, што е многу пониско од она на металите и мермерот. Ова значи дека кога температурата се менува, неговата големина се менува релативно малку. Сепак, треба да се напомене дека ниската термичка експанзија не значи дека нема термичка експанзија. При екстремни температурни флуктуации, дури и најмалата експанзија може да влијае на наноскалната точност на скенирањето на плочки.
За време на процесот на скенирање на плочки, постојат повеќе причини за појава на термичка експанзија. Флуктуациите на температурата во работилницата, топлината генерирана од работата на компонентите на опремата и моменталната висока температура предизвикана од ласерската обработка ќе предизвикаат гранитната основа да се „прошири и контрахира“ поради температурни промени. Откако основата ќе претрпи термичка експанзија, праволиниската положба на водилката и рамноста на платформата може да отстапат, што резултира со неточна траекторија на движење на масата на плочките. Поддржувачките оптички компоненти исто така ќе се поместат, предизвикувајќи зракот за скенирање да „отстапи“. Континуираната работа подолг временски период, исто така, ќе акумулира грешки, што ќе ја влоши точноста сè повеќе и повеќе.
Но, не грижете се. Луѓето веќе имаат решенија. Во однос на материјалите, ќе бидат избрани гранитни вени со помал коефициент на термичка експанзија и ќе бидат подложени на третман со стареење. Во однос на контролата на температурата, температурата во работилницата е прецизно контролирана на 23 ± 0,5℃ или дури и пониска, а за основата ќе биде дизајниран и активен уред за дисипација на топлина. Во однос на структурниот дизајн, се усвојуваат симетрични структури и флексибилни потпори, а се врши следење во реално време преку сензори за температура. Грешките предизвикани од термичка деформација се динамички корегираат со алгоритми.
Висококвалитетната опрема како што се ASML литографските машини, преку овие методи, го одржува ефектот на термичка експанзија на гранитната основа во екстремно мал опсег, овозможувајќи точноста на скенирањето на плочки да достигне нанометарско ниво. Затоа, доколку е правилно контролирана, гранитната основа останува сигурен избор за опрема за скенирање на плочки.
Време на објавување: 12 јуни 2025 година