Гранитните компоненти се широко користени во процесот на производство на полупроводници поради нивните одлични карактеристики како што се супериорна завршна обработка на површината, висока цврстина и одлично пригушување на вибрациите. Гранитните компоненти се неопходни за опремата за производство на полупроводници, вклучувајќи ги машините за литографија, машините за полирање и метролошките системи, бидејќи тие обезбедуваат прецизно позиционирање и стабилност за време на процесот на производство. И покрај сите предности од користењето на гранитни компоненти, тие исто така имаат недостатоци. Во оваа статија ќе ги разгледаме недостатоците на гранитните компоненти за производи од процесот на производство на полупроводници.
Прво, гранитните компоненти имаат висок коефициент на термичка експанзија. Тоа значи дека тие значително се шират под термички стрес, што може да предизвика проблеми за време на процесот на производство. Процесот на производство на полупроводници бара висока прецизност и димензионална точност што може да биде компромитирана поради термички стрес. На пример, деформацијата на силиконските плочки поради термичка експанзија може да предизвика проблеми со усогласувањето за време на литографијата, што може да го наруши квалитетот на полупроводничкиот уред.
Второ, гранитните компоненти имаат дефекти на порозност што би можеле да предизвикаат вакуумски протекувања во процесот на производство на полупроводници. Присуството на воздух или кој било друг гас во системот би можело да предизвика контаминација на површината на плочата, што би можело да резултира со дефекти што би можеле да влијаат на перформансите на полупроводничкиот уред. Инертните гасови како што се аргонот и хелиумот би можеле да навлезат во порозните гранитни компоненти и да создадат гасни меурчиња што би можеле да се мешаат во интегритетот на вакуумскиот процес.
Трето, гранитните компоненти имаат микрофрактури што би можеле да влијаат на прецизноста на процесот на производство. Гранитот е кршлив материјал што може да развие микрофрактури со текот на времето, особено кога е изложен на постојани циклуси на напрегање. Присуството на микрофрактури може да доведе до димензионална нестабилност, предизвикувајќи значителни проблеми за време на процесот на производство, како што се усогласување со литографија или полирање на плочки.
Четврто, гранитните компоненти имаат ограничена флексибилност. Процесот на производство на полупроводници бара флексибилна опрема што може да се прилагоди на различни промени во процесот. Сепак, гранитните компоненти се крути и не можат да се прилагодат на различни промени во процесот. Затоа, сите промени во процесот на производство бараат отстранување или замена на гранитните компоненти, што доведува до застој и влијае на продуктивноста.
Петто, гранитните компоненти бараат посебно ракување и транспорт поради нивната тежина и кршливост. Гранитот е густ и тежок материјал кој бара специјализирана опрема за ракување, како што се кранови и подигнувачи. Дополнително, гранитните компоненти бараат внимателно пакување и транспорт за да се спречи оштетување за време на транспортот, што доведува до дополнителни трошоци и време.
Како заклучок, гранитните компоненти имаат некои недостатоци што би можеле да влијаат на квалитетот и продуктивноста на производите во процесот на производство на полупроводници. Овие дефекти би можеле да се минимизираат преку внимателно ракување и одржување на гранитните компоненти, вклучувајќи периодична инспекција за микрофрактури и дефекти на порозност, правилно чистење за да се спречи контаминација и внимателно ракување за време на транспортот. И покрај дефектите, гранитните компоненти остануваат витален дел од процесот на производство на полупроводници поради нивната супериорна површинска завршна обработка, висока цврстина и одлично пригушување на вибрации.
Време на објавување: 05.12.2023