Гранитните компоненти се широко користени во процесот на производство на полупроводници поради нивните одлични карактеристики како што се супериорната завршница на површината, високата вкочанетост и одличното амортизирање на вибрациите.Гранитните компоненти се неопходни за опремата за производство на полупроводници, вклучувајќи машини за литографија, машини за полирање и метролошки системи бидејќи обезбедуваат прецизно позиционирање и стабилност за време на производниот процес.И покрај сите предности за користење на гранитни компоненти, тие исто така имаат дефекти.Во оваа статија, ќе разговараме за дефектите на гранитни компоненти за производи од процесот на производство на полупроводници.
Прво, гранитните компоненти имаат висок коефициент на термичка експанзија.Тоа значи дека тие значително се шират под термички стрес, што може да предизвика проблеми во текот на производниот процес.Процесот на производство на полупроводници бара висока прецизност и димензионална точност што може да биде загрозена поради термички стрес.На пример, деформацијата на силиконската обланда поради термичка експанзија може да предизвика проблеми со усогласувањето за време на литографијата, што може да го загрози квалитетот на полупроводничкиот уред.
Второ, гранитните компоненти имаат дефекти на порозност што може да предизвикаат протекување на вакуум во процесот на производство на полупроводници.Присуството на воздух или кој било друг гас во системот може да предизвика контаминација на површината на обландата, што ќе резултира со дефекти кои би можеле да влијаат на перформансите на полупроводничкиот уред.Инертните гасови, како што се аргонот и хелиумот, може да навлезат во порозните гранитни компоненти и да создадат гасни меури кои би можеле да го попречат интегритетот на процесот на вакуум.
Трето, гранитните компоненти имаат микрофрактури кои би можеле да ја попречат прецизноста на процесот на производство.Гранитот е кршлив материјал кој може да развие микрофрактури со текот на времето, особено кога е изложен на постојани циклуси на стрес.Присуството на микрофрактури може да доведе до димензионална нестабилност, предизвикувајќи значајни проблеми во текот на производниот процес, како што се усогласување со литографија или полирање на нафора.
Четврто, гранитните компоненти имаат ограничена флексибилност.Процесот на производство на полупроводници бара флексибилна опрема која може да прими различни промени во процесот.Сепак, гранитните компоненти се крути и не можат да се прилагодат на различни промени во процесот.Затоа, секоја промена во производниот процес бара отстранување или замена на гранитните компоненти, што доведува до прекини и влијае на продуктивноста.
Петто, гранитните компоненти бараат посебно ракување и транспорт поради нивната тежина и кршливост.Гранитот е густ и тежок материјал кој бара специјализирана опрема за ракување како што се кранови и подигачи.Дополнително, гранитните компоненти бараат внимателно пакување и транспорт за да се спречи оштетување за време на пратката, што доведува до дополнителни трошоци и време.
Како заклучок, гранитните компоненти имаат некои недостатоци кои би можеле да влијаат на квалитетот и продуктивноста на производите од процесот на производство на полупроводници.Овие дефекти може да се минимизираат преку внимателно ракување и одржување на гранитни компоненти, вклучувајќи периодична проверка за микрофрактури и дефекти на порозност, соодветно чистење за да се спречи контаминација и внимателно ракување за време на транспортот.И покрај дефектите, гранитните компоненти остануваат витален дел од процесот на производство на полупроводници поради нивната супериорна завршница на површината, високата вкочанетост и одличното амортизирање на вибрациите.
Време на објавување: Декември-05-2023 година