Гранитните компоненти се широко користени во процесот на производство на полупроводници заради нивните одлични карактеристики како што се супериорна завршница на површината, висока вкочанетост и одлично амортизирање на вибрациите. Гранитните компоненти се од суштинско значење за опрема за изработка на полупроводници, вклучително и машини за литографија, машини за полирање и системи за метрологија, бидејќи тие обезбедуваат прецизно позиционирање и стабилност за време на производниот процес. И покрај сите предности на користење на гранитни компоненти, тие исто така имаат дефекти. Во овој напис, ќе разговараме за дефектите на гранитните компоненти за производи за производство на полупроводници.
Прво, гранитните компоненти имаат висок коефициент на термичка експанзија. Тоа значи дека тие значително се прошируваат под термички стрес, што може да предизвика проблеми за време на процесот на производство. Процесот на производство на полупроводници бара голема прецизност и димензионална точност што може да биде компромитирана заради термички стрес. На пример, деформацијата на силиконските нафта како резултат на термичко проширување може да предизвика проблеми со усогласувањето за време на литографијата, што може да го загрози квалитетот на уредот за полупроводници.
Второ, гранитните компоненти имаат дефекти на порозност што можат да предизвикаат протекување на вакуум во процесот на производство на полупроводници. Присуството на воздух или кој било друг гас во системот може да предизвика загадување на површината на нафтата, што резултира во дефекти што можат да влијаат на перформансите на уредот за полупроводници. Инертните гасови како што се аргон и хелиум можеа да влезат во порозни компоненти на гранит и да создадат меурчиња за гас што може да се мешаат во интегритетот на вакуумскиот процес.
Трето, гранитните компоненти имаат микрофрактури што можат да се мешаат во прецизноста на процесот на производство. Гранитот е кршлив материјал што може да развие микрофрактури со текот на времето, особено кога е изложен на постојани циклуси на стрес. Присуството на микрофрактури може да доведе до димензионална нестабилност, предизвикувајќи значителни проблеми за време на процесот на производство, како што е усогласување на литографијата или полирање на нафта.
Четврто, гранитните компоненти имаат ограничена флексибилност. Процесот на производство на полупроводници бара флексибилна опрема што може да смести различни промени во процесите. Сепак, гранитните компоненти се цврсти и не можат да се прилагодат на различни промени во процесите. Затоа, какви било промени во процесот на производство, бараат отстранување или замена на компонентите на гранит, што доведува до време на застој и влијае на продуктивноста.
Петто, гранитните компоненти бараат специјално ракување и транспорт заради нивната тежина и кршливост. Гранит е густ и тежок материјал за кој е потребна специјализирана опрема за ракување како што се кранови и лифтови. Покрај тоа, гранитните компоненти бараат внимателно пакување и транспорт за да се спречи оштетување за време на пратката, што доведува до дополнителни трошоци и време.
Како заклучок, компонентите на гранит имаат некои недостатоци што можат да влијаат на квалитетот и продуктивноста на производите на производство на процеси на производство на полупроводници. Овие дефекти може да се минимизираат преку внимателно ракување и одржување на компонентите на гранит, вклучително и периодичен преглед на микрофрактури и дефекти на порозност, правилно чистење за да се спречи загадување и внимателно ракување за време на транспортот. И покрај дефектите, компонентите на гранит остануваат важен дел од процесот на производство на полупроводници заради нивната супериорна завршница на површината, високата вкочанетост и одличното амортизирање на вибрациите.
Време на објавување: Дек-05-2023