Област на примена на едноосен ултрапрецизен модул за движење со воздушен пловец со гранитна основа.

Производство на полупроводници: Во процесот на производство на чипови, процесот на фотолитографија треба прецизно да го пренесе шемата на колото на плочката. Гранитната основа на едноосниот модул за ултрапрецизно движење со воздух може да обезбеди високопрецизно позиционирање и стабилна поддршка за масата на плочката во опремата за литографија. На пример, ASML и други меѓународно признати производители на машини за литографија користат модули за движење со воздух на база на гранит во нивната врвна опрема, кои можат да ја контролираат точноста на позиционирањето на плочката на нанометарско ниво за да се обезбеди точноста на шемата за литографија, со што се подобрува интеграцијата и перформансите на чипот.
Поле за прецизно мерење: CMM е опрема за прецизно мерење која најчесто се користи во индустриското производство, а се користи за мерење на големината, обликот и точноста на положбата на обработуваниот дел. Ултрапрецизниот модул за движење на еднооската воздушна пловака на гранитната основа може да се користи како платформа за движење на CMM, која може да реализира високопрецизно линеарно движење и да обезбеди стабилна траекторија на движење за мерната сонда. На пример, врвниот CMM на Hexagon ја користи оваа комбинација за мерење на големи и сложени делови со точност на мерење до микронско ниво, обезбедувајќи силна гаранција за контрола на квалитетот на деловите во автомобилската, воздухопловната и другите индустрии.
Аерокосмичка област: При обработката и тестирањето на воздухопловни делови, потребна е висока прецизност. На пример, обработката на лопатките на авионските мотори бара прецизна контрола на траекторијата на движење на алатот за да се обезбеди точноста на профилот на лопатката. Гранитната основа на едноосниот ултрапрецизен модул за движење со воздушен пловец може да се примени на петосниот центар за обработка и друга опрема за да обезбеди високопрецизна контрола на движењето за алатот и да се осигури дека точноста на обработката на лопатката може да ги исполни барањата на дизајнот. Во исто време, во процесот на склопување на аеромоторот, потребно е да се користи и високопрецизна мерна опрема за да се открие точноста на склопувањето на деловите. Модулот за движење со воздушен пловец на гранитната основа може да обезбеди стабилна потпора и прецизно движење за мерната опрема за да се обезбеди квалитет на склопување.
Оптичка инспекција: Во процесот на производство и тестирање на оптички компоненти, потребно е да се изврши високопрецизно позиционирање и мерење на оптичките компоненти. На пример, при производство на високопрецизни оптички компоненти како што се огледала и леќи, потребно е да се користат интерферометри и друга опрема за да се детектира точноста на обликот на површината. Гранитната основа на едноосниниот модул за ултрапрецизно движење со воздух може да се користи како платформа за движење на интерферометарот, што може да постигне точност на позиционирање под микрони и да обезбеди точна поддршка на податоци за детекција на оптички компоненти. Покрај тоа, во опремата за ласерска обработка, потребно е да се користи и високопрецизна платформа за движење за контрола на траекторијата на скенирање на ласерскиот зрак, гранитната основа на модулот за движење со воздух може да го исполни ова барање, за да се постигне високопрецизна ласерска обработка.