Во процесот на индустријата за полупроводници што се движи кон производствени процеси на наноразмер, сечењето плочки, како клучна алка во производството на чипови, има исклучително строги барања за стабилност на опремата. Гранитната основа, со својата извонредна отпорност на вибрации и термичка стабилност, стана основна компонента на опремата за сечење плочки, обезбедувајќи сигурна гаранција за постигнување на високопрецизна и високоефикасна обработка на плочки.
Високи карактеристики на амортизација и антивибрации: Заштита на точноста на сечење на нано ниво
Кога опремата за сечење плочки е во функција, брзото вртење на вретеното, високофреквентните вибрации на алатката за сечење и вибрациите на околината генерирани од околната опрема, сите тие ќе имаат значително влијание врз точноста на сечењето. Перформансите на пригушување на традиционалните метални основи се ограничени, што го отежнува брзото намалување на вибрациите, што доведува до треперење на микронско ниво на алатките за сечење и директно предизвикува дефекти како што се искршени рабови и пукнатини на плочките. Високите карактеристики на пригушување на гранитната основа фундаментално го решија овој проблем.
Внатрешните минерални кристали на гранит се тесно испреплетени, формирајќи природна структура за дисипација на енергија. Кога вибрациите се пренесуваат на основата, нејзината внатрешна микроструктура може брзо да ја претвори енергијата на вибрациите во топлинска енергија, постигнувајќи ефикасно атенуирање на вибрациите. Експерименталните податоци покажуваат дека под истата вибрациска средина, гранитната основа може да ја намали амплитудата на вибрациите за повеќе од 90% во рок од 0,5 секунди, додека металната основа бара 3 до 5 секунди. Ова извонредно пригушување гарантира дека алатката за сечење останува стабилна за време на процесот на сечење на наноразмер, гарантирајќи мазен раб на сечењето на плочки и ефикасно намалувајќи ја брзината на кршење. На пример, во процесот на сечење на плочки од 5nm, опремата со гранитната основа може да ја контролира големината на кршењето во рамките на 10μm, што е над 40% повисоко од онаа на опремата со метална основа.
Ултра-низок коефициент на термичка експанзија: Отпорен на влијанието на температурните флуктуации
За време на процесот на сечење на плочки, топлината генерирана од триењето на алатките за сечење, дисипацијата на топлина од долготрајното работење на опремата и промените во температурата на работната средина можат да предизвикаат термичка деформација на компонентите на опремата. Коефициентот на термичка експанзија на металните материјали е релативно висок (приближно 12×10⁻⁶/℃). Кога температурата варира за 5℃, метална основа долга 1 метар може да претрпи деформација од 60μm, што предизвикува поместување на положбата на сечење и сериозно влијае на точноста на сечењето.
Коефициентот на термичка експанзија на гранитната основа е само (4-8) × 10⁻⁶/℃, што е помалку од една третина од оној на металните материјали. При иста промена на температурата, нејзината димензионална промена може речиси да се игнорира. Измерените податоци од одредено претпријатие за производство на полупроводници покажуваат дека за време на 8-часовна континуирана операција на сечење на плочки со висок интензитет, кога температурата на околината варира за 10℃, поместувањето на положбата на сечење на опремата со гранитната основа е помало од 20μm, додека онаа на опремата со метална основа надминува 60μm. Овие стабилни термички перформанси осигуруваат дека релативната положба помеѓу алатот за сечење и плочките останува прецизна во секое време. Дури и при долготрајна континуирана работа или драстични промени во температурата на околината, може да се одржи конзистентноста на точноста на сечењето.
Цврстина и отпорност на абење: Обезбедете долгорочно стабилно работење на опремата
Покрај предностите на отпорноста на вибрации и термичката стабилност, високата цврстина и отпорноста на абење на гранитната основа дополнително ја зголемуваат сигурноста на опремата за сечење плочки. Гранитот има тврдост од 6 до 7 на Мосовата скала и цврстина на компресија што надминува 120 MPa. Може да издржи огромен притисок и сила на удар за време на процесот на сечење и не е склонен кон деформација. Во меѓувреме, неговата густа структура му дава одлична отпорност на абење. Дури и за време на чести операции на сечење, површината на основата не е склона кон абење, што осигурува дека опремата одржува високопрецизна работа долго време.
Во практични апликации, многу претпријатија за производство на вафли значително го подобрија приносот на производот и ефикасноста на производството со усвојување опрема за сечење со гранитна основа. Податоците од водечка леарница во светот покажуваат дека по воведувањето на опрема за сечење на гранитна основа, приносот на сечење на вафли се зголемил од 88% на над 95%, а циклусот на одржување на опремата е продолжен за три пати, ефикасно намалувајќи ги трошоците за производство и зголемувајќи ја конкурентноста на пазарот.
Како заклучок, гранитната основа, со својата одлична отпорност на вибрации, термичка стабилност, висока цврстина и отпорност на абење, обезбедува сеопфатни гаранции за перформанси за опремата за сечење плочки. Со напредокот на технологијата на полупроводници кон поголема прецизност, гранитните основи ќе играат позначајна улога во областа на производството на плочки, промовирајќи го континуираниот иновативен развој на полупроводничката индустрија.
Време на објавување: 20 мај 2025 година