Во полупроводничката индустрија, инспекцијата на плочки е клучна алка за да се обезбеди квалитетот и перформансите на чипот, а точноста и стабилноста на инспекциската маса играат одлучувачка улога во резултатите од детекцијата. Гранитната основа со своите уникатни карактеристики, станува идеален избор за инспекција на полупроводнички плочки, следново од повеќедимензионалната анализа за вас.
Прво, димензијата на гаранцијата за прецизност
1. Ултра висока рамност и правост: Гранитната основа е обработена со напредна технологија за обработка, а рамноста може да достигне ±0,001 mm/m или дури и поголема точност, а правостот е исто така одличен. Во процесот на инспекција на плочките, високопрецизната рамнина обезбедува стабилна потпора за плочките и обезбедува точен контакт помеѓу сондата на опремата за инспекција и споевите за лемење на површината на плочките.
2. Многу низок коефициент на термичка експанзија: производството на полупроводници е чувствително на температурни промени, а коефициентот на термичка експанзија на гранитот е екстремно низок, обично околу 5×10⁻⁶/℃. Кога платформата за детекција работи, дури и ако температурата на околината флуктуира, големината на гранитната основа се менува многу малку. На пример, во работилницата за висока температура во лето, температурата на вообичаената платформа за детекција на метална основа може да предизвика поместување на релативната положба на плочката и опремата за детекција, што влијае на точноста на детекцијата; Платформата за детекција на гранитна основа може да одржува стабилност, да ја обезбеди точноста на релативната положба на плочката и опремата за детекција за време на процесот на детекција и да обезбеди стабилна средина за високопрецизно детектирање.
Второ, димензија на стабилност
1. Стабилна структура и отпорност на вибрации: Гранитот, по милиони години геолошки процеси, има густа и униформна внатрешна структура. Во сложената средина на фабриката за полупроводници, вибрациите генерирани од работата на периферната опрема и персоналот што се движи наоколу се ефикасно намалени од гранитната основа.
2. Точност при долготрајна употреба: во споредба со другите материјали, гранитот има висока цврстина, силна отпорност на абење, а Мосовата тврдост може да достигне 6-7. Површината на основата на гранит не се троши лесно за време на честите операции на товарење, растоварување и инспекција на плочката. Според фактичката употреба на статистиката на податоците, употребата на маса за тестирање на основата на гранит, континуирано работење по 5000 часа, точноста на рамноста и правоста сè уште може да се одржи на повеќе од 98% од почетната точност, намалувајќи го абењето на опремата предизвикано од редовна калибрација и време на одржување, намалувајќи ги оперативните трошоци на бизнисот, за да се обезбеди долгорочна стабилност на тест работата.
Трето, чиста и анти-мешачка димензија
1. Мало генерирање прашина: средината за производство на полупроводници треба да биде многу чиста, а самиот гранитен материјал е стабилен и не создава лесно честички прашина. За време на работата на тест платформата, се избегнува прашината генерирана од основата да ја загади плочката, а ризикот од краток спој и отворено коло предизвикано од честички прашина е намален. Во областа за инспекција на плочката во работилницата без прашина, концентрацијата на прашина околу масата за инспекција на гранитната основа секогаш се контролира на екстремно ниско ниво, исполнувајќи ги строгите барања за чистота на полупроводничката индустрија.
2. Без магнетни пречки: опремата за детекција е чувствителна на електромагнетната средина, а гранитот е немагнетен материјал, кој нема да се меша со електронскиот сигнал на опремата за детекција. При употреба на детекција со електронски зрак и други технологии за тестирање кои бараат екстремно висока електромагнетна средина, гранитната основа обезбедува стабилен пренос на електронскиот сигнал на опремата за детекција и ја осигурува точноста на резултатите од тестот. На пример, кога плочката се тестира за високопрецизни електрични перформанси, немагнетната гранитната основа избегнува пречки со сигналите за струја и напон на детекција, така што податоците за детекција навистина ги одразуваат електричните карактеристики на плочката.
Време на објавување: 31 март 2025 година