Во областа на прецизно мерење, гранитната прецизна платформа со својата одлична стабилност, висока цврстина и добра отпорност на абење, стана идеална основа за многу високопрецизни мерења. Сепак, температурните флуктуации на факторите на животната средина, како што е „прецизниот убиец“ скриен во темнината, имаат незанемарливо влијание врз точноста на мерењето на гранитната прецизна платформа. Од големо значење е длабински да се испита прагот на влијание за да се обезбеди точноста и сигурноста на мерната работа.
Иако гранитот е познат по својата стабилност, тој не е имун на температурни промени. Неговите главни компоненти се кварц, фелдспат и други минерали, кои ќе предизвикаат феномен на термичка експанзија и контракција на различни температури. Кога температурата на околината се зголемува, прецизната платформа од гранит се загрева и се шири, а големината на платформата малку ќе се промени. Кога температурата ќе падне, таа ќе се намали назад во првобитната состојба. Навидум малите промени во големината можат да се зголемат во клучни фактори што влијаат на резултатите од мерењето во сценарија за прецизно мерење.
Земајќи го како пример вообичаениот инструмент за мерење на координати што одговара на гранитна платформа, во задачата за мерење со висока прецизност, барањата за точност на мерењето често достигнуваат микронско ниво или дури и повисоко. Се претпоставува дека на стандардна температура од 20℃, различните димензионални параметри на платформата се во идеална состојба и точни податоци можат да се добијат со мерење на работното парче. Кога температурата на околината флуктуира, ситуацијата е многу поинаква. По голем број експериментални податоци, статистика и теоретска анализа, под нормални околности, со флуктуација на температурата на околината од 1℃, линеарното ширење или контракција на гранитната прецизна платформа е околу 5-7 × 10⁻⁶/℃. Ова значи дека за гранитна платформа со должина на страна од 1 метар, должината на страната може да се промени за 5-7 микрони ако температурата се промени за 1°C. Во прецизни мерења, таквата промена на големината е доволна за да предизвика грешки во мерењето надвор од прифатливиот опсег.
За мерните работи потребни за различни нивоа на точност, прагот на влијание на температурните флуктуации е исто така различен. При обично прецизно мерење, како што е мерењето на големината на механичките делови, ако дозволената грешка во мерењето е во рамките на ±20 микрони, според горенаведената пресметка на коефициентот на експанзија, температурните флуктуации треба да се контролираат во опсег од ± 3-4 ℃, со цел да се контролира грешката во мерењето предизвикана од промената на големината на платформата на прифатливо ниво. Во области со високи барања за прецизност, како што е мерењето на процесот на литографија во производството на полупроводнички чипови, грешката е дозволена во рамките на ±1 микрон, а температурните флуктуации треба строго да се контролираат во рамките на ± 0,1-0,2 °C. Откако температурните флуктуации ќе го надминат овој праг, термичкото ширење и контракција на гранитната платформа може да предизвикаат отстапувања во резултатите од мерењето, што ќе влијае на приносот на производството на чипови.
За да се справи со влијанието на флуктуациите на температурата на околината врз прецизноста на мерењето на прецизната гранитна платформа, во практичната работа често се преземаат многу мерки. На пример, во мерната средина се инсталира опрема со висока прецизност со константна температура за контрола на флуктуациите на температурата во многу мал опсег; Температурната компензација се врши врз податоците од мерењето, а резултатите од мерењето се корегираат со софтверски алгоритам според коефициентот на термичка експанзија на платформата и промените на температурата во реално време. Сепак, без разлика какви мерки се преземаат, точното разбирање на влијанието на флуктуациите на температурата на околината врз точноста на мерењето на прецизната гранитна платформа е премиса за обезбедување точни и сигурни мерни работи.
Време на објавување: 03 април 2025 година