Избор на гранитни платформи за оптичка инспекција

Иако гранитната платформа може да изгледа како едноставна камена плоча, критериумите за избор драстично се менуваат кога се преминува од обични индустриски апликации кон оптичка инспекција и метрологија со висок ризик. За ZHHIMG®, снабдувањето со прецизни компоненти за светските лидери во полупроводничката и ласерската технологија значи препознавање дека платформата за оптичко мерење не е само основа - таа е составен, неспорен дел од самиот оптички систем.

Барањата за оптичка инспекција - кои вклучуваат снимање со големо зголемување, ласерско скенирање и интерферометрија - се дефинирани со потребата да се елиминираат сите извори на шум од мерењето. Ова води кон фокус на три посебни својства што ја разликуваат вистинската оптичка платформа од стандардната индустриска.

1. Супериорна густина за неспоредливо пригушување на вибрации

За стандардни индустриски CNC бази, леаното железо или типичниот гранит може да понудат соодветна цврстина. Сепак, оптичките поставувања се исклучително чувствителни на ситни поместувања предизвикани од надворешни вибрации од фабричка опрема, системи за ракување со воздух или дури и оддалечен сообраќај.

Тука науката за материјали станува најважна. Оптичката платформа бара гранит со исклучително вродено пригушување на материјалот. ZHHIMG® го користи својот патентиран ZHHIMG® црн гранит (≈ 3100 kg/m³). Овој материјал со ултра висока густина, за разлика од замените за гранит или мермер од понизок степен, поседува кристална структура која е многу ефикасна во дисипацијата на механичката енергија. Целта не е само да се намалат вибрациите, туку да се обезбеди основата да остане апсолутно тивок механички под, минимизирајќи го релативното движење помеѓу објективот и испитуваниот примерок на ниво под микрон.

2. Екстремна термичка стабилност за борба против наносите од снег

Стандардните индустриски платформи толерираат мали димензионални промени; десетина од Целзиусов степен можеби не е важна за дупчењето. Но, кај оптичките системи што вршат прецизни мерења во подолги периоди, секое термичко поместување во геометријата на основата воведува систематска грешка.

За оптичка инспекција, платформата мора да дејствува како термички мијалник со исклучително низок коефициент на термичка експанзија (CTE). Супериорната маса и густина на ZHHIMG® црниот гранит ја обезбедуваат потребната термичка инерција за да се спротивстават на ситните проширувања и контракции што можат да се појават во просторија со климатизација. Оваа стабилност гарантира дека калибрираното фокусно растојание и рамното порамнување на оптичките компоненти остануваат фиксни, гарантирајќи го интегритетот на мерењата што опфаќаат часови - неспорен фактор за инспекција на плочи со висока резолуција или метрологија на рамни екрани.

3. Постигнување на нано-ниво рамност и геометриска прецизност

Највидливата разлика е условот за рамномерност. Додека обичната индустриска база може да ја исполни рамномерноста од степен 1 ​​или степен 0 (мерена во неколку микрони), оптичките системи бараат точност во нанометарскиот опсег. Ова ниво на геометриска совршенство е неопходно за да се обезбеди сигурна референтна рамнина за линеарни сцени и системи за автофокус кои работат на принципите на светлосна интерференција.

Постигнувањето и сертифицирањето на рамност на нанометарско ниво бара сосема поинаков пристап во производството. Вклучува високо специјализирани техники со употреба на напредна машинерија како што се брусилките „Тајван Нантер“ и е потврдено со софистицирана метролошка опрема како што се ласерските интерферометри „Ренишо“. Овој процес мора да се одвива во ултрастабилна средина, како што се работилниците на ZHHIMG® со амортизација на вибрации и контрола на климата, каде што дури и суптилните движења на воздухот се минимизирани.

Во суштина, изборот на гранитна прецизна платформа за оптичка инспекција е одлука за инвестирање во компонента која активно ја гарантира прецизноста на самото оптичко мерење. Потребно е партнерство со производител кој го смета сертификацијата ISO 9001 и сеопфатната димензионална следливост не како опционални карактеристики, туку како основни барања за влегување во светот на ултрапрецизната оптика.