Во прецизниот синџир на производство на полупроводници, системот за пренос на плочки е како „животна линија на производствената линија на чипови“, а неговата стабилност и точност директно ја одредуваат стапката на принос на чиповите. Новата генерација на системи за пренос на плочки револуционерно ги комбинира линеарните мотори со гранитни бази, а уникатните предности на гранитните материјали се токму основниот код за отклучување на високо-перформансниот пренос.
Гранитна основа: Градење „цврста како карпа“ основа за стабилен пренос
Гранитот, кој поминал низ стотици милиони години геолошко рафинирање, се одликува со густа и униформна внатрешна минерална кристализација. Оваа природна карактеристика го прави идеален основен материјал за системи за пренос на плочки. Во сложената средина на чистите простории за полупроводници, гранитот, со својот ултра низок коефициент на термичка експанзија (само 5-7 ×10⁻⁶/℃), може да се спротивстави на топлината генерирана за време на работата на опремата и влијанието на промените на температурата на околината, обезбедувајќи стабилност на големината на основата и избегнувајќи отстапување на патеката на преносот предизвикано од термичка деформација. Неговите извонредни перформанси на амортизација на вибрации можат брзо да ги апсорбираат механичките вибрации генерирани за време на стартувањето, исклучувањето и забрзувањето на линеарните мотори, како и надворешните пречки предизвикани од работата на друга опрема во работилницата, обезбедувајќи стабилна платформа со „нулто тресење“ за пренос на плочки.
Во меѓувреме, хемиската стабилност на гранитот гарантира дека тој не кородира или 'рѓосува во полупроводнички работилници каде што киселинските и алкалните реагенси се испарливи и е потребна висока чистота, со што се избегнува влијанието врз точноста на преносот поради стареење на материјалот или адсорпција на загадувачи. Мазните и густи карактеристики на површината можат поефикасно да го намалат адхезијата на прашина, исполнувајќи ги строгите стандарди за без прашина за чисти простории и елиминирајќи го ризикот од контаминација на плочките од коренот.
Ефектот на „златно партнерство“ на линеарни мотори и гранит
Линеарните мотори, со нивните карактеристики на отсуство на механички клиренс на преносот, високо забрзување и висока брзина на одзив, му даваат предност на преносот на плочи со предностите на „брзо, прецизно и стабилно“. Гранитната основа обезбедува солидна и сигурна платформа за поддршка. Двете работат заедно за да постигнат скок во перформансите. Кога линеарниот мотор го движи носачот на плочи да работи на колосекот на гранитната основа, силната цврстина и стабилност на основата обезбедуваат ефикасен пренос на погонската сила на моторот, избегнувајќи губење на силата или застој во преносот предизвикано од деформација на основата.
Водени од побарувачката за нанопрецизност, линеарните мотори можат да постигнат контрола на поместувањето на ниво под микрон. Карактеристиките за високопрецизна обработка на гранитните бази (со грешки во рамноста контролирани во рамките на ±1μm) совршено се совпаѓаат со прецизната контрола на линеарните мотори, заедно осигурувајќи дека грешката во позиционирањето за време на преносот на плочките е помала од ±5μm. Без разлика дали станува збор за брзо преместување помеѓу различна процесна опрема или прецизно паркирање за предавање на плочките, комбинацијата на линеарни мотори и гранитни бази може да обезбеди „нулта девијација и нулта треперење“ во преносот на плочките.
Верификација на индустриската пракса: Двојно подобрување на ефикасноста и стапката на принос
По надградбата на својот систем за пренос на плочки, водечка глобална компанија за полупроводници усвои решение на база на линеарен мотор + гранит, кое ја зголеми ефикасноста на пренос на плочки за 40%, ја намали стапката на појава на грешки како што се судир и поместување за време на процесот на пренос за 85% и ја подобри вкупната стапка на принос на чиповите за 6%. Зад податоците лежи гаранцијата за стабилност на преносот обезбедена од гранитната основа и брзиот и прецизен синергиски ефект на линеарниот мотор, што значително ги намалува загубите и грешките во процесот на пренос на плочки.
Од својствата на материјалите до прецизното производство, од предностите во перформансите до практичната верификација, комбинацијата на линеарни мотори и гранитни бази ги редефинираше стандардите на системите за пренос на плочки. Во иднина, кога технологијата на полупроводници ќе напредува кон 3nm и 2nm процеси, гранитните материјали сигурно ќе продолжат да внесуваат силен импулс во развојот на индустријата со своите незаменливи предности.
Време на објавување: 14 мај 2025 година