Гранитната подлога е важна компонента во различни полупроводнички уреди. Како високо стабилен и крут материјал, гранитот е широко користен како основа за опрема за обработка на полупроводници. Се карактеризира со низок коефициент на термичка експанзија, висока димензионална стабилност и одлични механички својства. Поради овие својства, гранитната подлога најчесто се користи во три различни типа полупроводнички уреди - метролошка опрема, опрема за литографија и опрема за инспекција.
Метролошката опрема се користи за мерење и откривање на критичните димензии на полупроводничките уреди. Таа игра клучна улога во одржувањето на квалитетот и конзистентноста на процесот на производство на полупроводници. Метролошката опрема вклучува инструменти како што се оптички микроскопи, електронски микроскопи и атомски силови микроскопи (AFM). Бидејќи перформансите на овие мерни инструменти зависат од нивната стабилност, прецизност и отпорност на вибрации, гранитот е идеален избор за материјалот на нивниот слој. Униформноста и стабилноста на гранитниот слој обезбедуваат стабилна платформа за инструментите, што ја подобрува нивната точност и сигурност.
Опремата за литографија се користи за изработка на шемите на микрочиповите на плочката. Процесот на литографија бара високо ниво на прецизност и точност за да се создадат сложени кола и да се подобрат перформансите на чипот. Опремата за литографија вклучува чекорни и скенирачки системи кои користат светлина за пренос на слики на плочката. Бидејќи процесот на литографија е многу чувствителен на вибрации и термички промени, висококвалитетниот слој е од суштинско значење за да се обезбеди стабилност и повторување на процесот на литографија. Гранитните слоеви ја обезбедуваат потребната стабилност и строги перформанси на амортизација на вибрации за литографските системи. Гранитниот слој му овозможува на чекорниот или скенирачкиот систем да одржува прецизни просторни односи, обезбедувајќи висока точност и квалитет на финалниот производ.
Инспекциската опрема се користи за откривање на какви било дефекти кај полупроводничките уреди. Инспекциската опрема вклучува системи како што се ласерски скенирачки микроскопи, електронски микроскопи и оптички микроскопи. Со оглед на потребата овие уреди да бидат многу прецизни, стабилни и отпорни на вибрации, гранитните слоеви се совршен материјал. Механичките својства на гранитот и димензионалната стабилност помагаат во изолацијата на вибрациите, што ја подобрува точноста на излезот од инспекциската опрема.
Како заклучок, гранитната подлога е клучна за полупроводничката индустрија и е широко користена во различни видови опрема. Неговите уникатни својства како што се димензионална стабилност, низок коефициент на термичка експанзија и одлична механичка стабилност го прават гранитот идеален избор за материјал за подлогата на полупроводничката опрема. Бидејќи висококвалитетната гранитна подлога ја обезбедува потребната стабилност, прецизност и отпорност на вибрации на полупроводничката опрема, таа на крајот го подобрува квалитетот на финалниот производ. Затоа, употребата на гранитна подлога во полупроводничката опрема сигурно ќе продолжи во годините што доаѓаат.
Време на објавување: 03 април 2024 година