Гранитните материјали се широко користени во полупроводничката индустрија поради нивните одлични карактеристики, како што се висока стабилност, ниска термичка експанзија и висока отпорност на корозија. Овие својства го прават гранитот идеален материјал за изработка на високопрецизни компоненти во систем за пренос на плочки.
Во процесот на производство на полупроводници, системот за пренос на плочки игра клучна улога во транспортот на плочките низ различни фази од процесот на производство. Прецизноста и точноста се основни барања за овие системи, бидејќи дури и малите отстапувања би можеле да го загрозат целиот процес. Затоа, компонентите во системот за пренос на плочки мора да бидат направени од висококвалитетни материјали, а гранитот ги исполнува тие критериуми.
Некои делови од системот за пренос на плочки кои се направени од гранитни материјали вклучуваат:
1. Маса за вакуумски штрафцигер
Масата со вакуумски стек се користи за држење на плочката за време на процесот и мора да има стабилна површина за да се осигури дека плочката нема да се оштети. Гранитот е идеален материјал за изработка на оваа маса бидејќи има рамна, непорозна површина што обезбедува висока стабилност и прецизност. Дополнително, гранитот има низок коефициент на термичка експанзија, што ја прави отпорна на температурни промени што би можеле да предизвикаат димензионални промени во плочката.
2. Фаза со воздушно лежиште
Степенот со воздушно лежиште се користи за транспорт на плочката низ различни фази од процесот на производство. Степенот е конструиран да обезбеди движење без триење, што бара висока прецизност и стабилност. Гранитот се користи во оваа примена бидејќи е крут и тврд камен и е отпорен на деформација и абење со текот на времето.
3. Линеарни водилки за движење
Линеарните водилки за движење се користат за водење на воздушната платформа и тие мора да бидат прецизно позиционирани за да се минимизираат грешките. Гранит се користи за изработка на оваа водилка бидејќи има одлична механичка стабилност и цврстина. Материјалот е исто така отпорен на корозија, што обезбедува долготрајност на системот за водилка.
4. Метролошка опрема
Метролошката опрема се користи за мерење на димензиите и својствата на плочката за време на процесот на производство. Гранитот е идеален материјал за изработка на оваа опрема бидејќи има висока цврстина, ниска експанзија и минимална деформација под оптоварување. Покрај тоа, термичката стабилност на гранитот гарантира дека метролошката опрема останува стабилна и прецизна со текот на времето.
Како заклучок, полупроводничката индустрија се потпира на прецизност и точност, а гранитните материјали се покажаа како високо сигурни и стабилни во процесот на производство. Со оглед на тоа што многу критични компоненти во системот за пренос на плочки бараат висока стабилност, прецизност и ниска термичка експанзија, инженерите се свртеа кон гранитните материјали за да ги исполнат овие критични барања.
Време на објавување: 19 март 2024 година