Гранитните леи играат суштинска улога во полупроводничката индустрија бидејќи обезбедуваат стабилна и прецизна платформа за полупроводничка опрема. Од клучно значење е да се обрне внимание на инсталацијата и пуштањето во употреба на гранитната леа за да се обезбедат оптимални перформанси и точност.
Еве неколку критични фактори што треба да се земат предвид при инсталацијата и пуштањето во употреба на гранитни леи:
1. Монтирање и нивелирање
Првиот и најважен чекор е да се обезбеди правилно монтирање и нивелирање на гранитната подлога. Подлогата треба да се постави на цврста основа што може да ја издржи нејзината тежина и треба да се нивелира за да се осигура дека површината е рамна и рамномерна. Секакви нерамнини или вдлабнатини на површината може да доведат до нерамномерно порамнување на опремата и слаба прецизност.
2. Контрола на температурата
Гранитните леи се чувствителни на температура, а промените во температурата можат да влијаат на нивната точност. Затоа, важно е да се контролира температурата на гранитниот леи за време и по инсталацијата. Треба да се инсталираат сензори за температура за да се следат сите промени на температурата, а треба да се користи систем за ладење/греење за одржување на стабилна температура.
3. Чистота
Од витално значење е да се одржува чиста и без прашина средина околу гранитната подлога. Дури и мала честичка прашина може да предизвика нерамномерно поставување и да влијае на точноста на опремата. Треба редовно да се чисти и одржува површината на подлогата за да се спречи какво било натрупување на честички што би можеле негативно да влијаат врз перформансите на опремата.
4. Усогласување
Откако гранитната подлога ќе се инсталира и израмни, следниот чекор е да се усогласи опремата на подлогата. Усогласувањето треба да се направи внимателно за да се осигура дека опремата е прецизно позиционирана. Ласерските алатки за мерење може да се користат за прецизно мерење на позиционирањето на опремата на гранитната подлога.
5. Калибрација
Откако опремата ќе се усогласи, клучно е да се калибрира за да се обезбеди максимална точност. Калибрацијата вклучува мерење и прилагодување на параметрите на опремата за да одговараат на точните спецификации потребни за полупроводничката индустрија. Процесот на калибрација треба да го спроведе искусен техничар за да се обезбеди максимална точност.
Како заклучок, инсталацијата и пуштањето во употреба на гранитни леи бара внимателно внимание на деталите. Правилното монтирање и нивелирање, контролата на температурата, чистотата, усогласувањето и калибрацијата се критични фактори што треба да се земат предвид за да се обезбеди максимална точност и перформанси на полупроводничката опрема. Со следење на овие упатства, производителите и операторите на опрема можат да постигнат високо ниво на прецизност и сигурност во нивните производствени процеси.
Време на објавување: 03 април 2024 година