Гранитните слоеви се многу претпочитани во производството на полупроводничка опрема поради нивните одлични својства како што се висока димензионална стабилност, висока цврстина, ниска термичка експанзија, добри својства на амортизација и висока отпорност на абење и абење. Тие се широко користени во неколку критични компоненти во индустријата за производство на полупроводничка опрема, како што се системи за инспекција на плочки, системи за мерење на плочки, системи за ракување со плочки и друго.
Системи за инспекција на вафери
Системите за инспекција на плочки користат гранитни слоеви за да обезбедат стабилна и рамна површина за инспекција на полупроводнички плочки. Гранитните слоеви се користат како платформа на која се држи плочката што се инспектира. Рамноста и цврстината на гранитниот слој обезбедуваат прецизна инспекција, а воедно го минимизираат оштетувањето или контаминацијата на плочката. Гранитните слоеви, исто така, помагаат да се намалат ефектите од вибрациите на животната средина и други надворешни фактори.
Системи за мерење на плочки
Во системите за мерење на плочки, прецизноста е клучна. Гранитните слоеви се широко користени за оваа намена поради нивната одлична димензионална стабилност. Тие обезбедуваат цврста основа за прецизно мерење на дебелината, обликот и површинските карактеристики на плочките. Гранитните слоеви се исто така отпорни на абење и абење, што ги прави идеални за континуирана употреба во подолг период.
Системи за ракување со вафли
Гранитните слоеви се користат и во системи за ракување со плочки. Во овие системи, гранитните слоеви се користат како прецизна водилка за позиционирање на плочката за време на процесот на ракување. Високата цврстина и рамност на гранитната површина обезбедуваат прецизно и повторливо позиционирање на плочката, намалувајќи го ризикот од оштетување.
Други компоненти
Освен горенаведените компоненти, гранитните слоеви се користат и во други критични делови од производството на полупроводничка опрема, како што се бази на сцени, потпорни структури и други делови со висока прецизност. Високата димензионална стабилност на гранитните слоеви помага да се намалат грешките предизвикани од деформација на деловите, термички промени и вибрации.
Заклучок
Како заклучок, гранитните слоеви се критична компонента во производството на полупроводничка опрема бидејќи нудат висока димензионална стабилност, ниска термичка експанзија и одлична отпорност на абење и абење. Тие се неопходни за точни, повторувачки и сигурни перформанси во системите за инспекција на плочки, системите за мерење на плочки, системите за ракување со плочки и друга високопрецизна опрема. Употребата на гранитни слоеви им овозможува на производителите на полупроводничка опрема да произведуваат висококвалитетни производи што ги исполнуваат ригорозните стандарди што ги бара модерната полупроводничка индустрија.
Време на објавување: 03 април 2024 година