Во областа на производството на полупроводници, прецизноста од субмикрон е клучна за обезбедување перформанси на чипот, а гранитната основа (ZHHIMG®), со своите својства на материјалот, прецизна обработка и иновативен дизајн, стана основна гаранција за постигнување на оваа прецизност.
Од аспект на својствата на материјалот, црниот гранит избран од ZHHIMG® има густина од приближно 3100 кг/м³, со густа внатрешна структура. Оваа висока густина му дава извонредна стабилност и цврстина. За време на работата на полупроводничката опрема, ротацијата на моторите и движењето на механичките компоненти во опремата ќе генерираат вибрации. Гранитната основа може ефикасно да апсорбира над 90% од енергијата на вибрациите, значително намалувајќи го влијанието на вибрациите врз точноста на опремата. Во меѓувреме, неговиот екстремно низок коефициент на термичка експанзија му овозможува да ја одржува својата деформација во многу мал опсег кога температурата на околината флуктуира, обезбедувајќи стабилна потпорна основа за полупроводничката опрема и спречувајќи поместување на компонентите на опремата поради промени во температурата, што може да влијае на точноста.
Во однос на преработката и производството, фабриката ZHHIMG® користи меѓународна напредна опрема за обработка и има четири супер големи машини за мелење (секоја машина чини над 500.000 американски долари), кои можат да извршат високопрецизно мелење на гранит. Преку CNC обработка со пет оски и други процеси, рамноста на основата на машината може да достигне нанометриско ниво, обезбедувајќи ултрарамна референтна површина за инсталација на полупроводничка опрема и обезбедувајќи прецизно позиционирање на секоја компонента од опремата. Покрај тоа, работилницата за константна температура и влажност (која покрива површина од 10.000 квадратни метри) обезбедува стабилна средина за обработка. Рововите против вибрации со ширина од 500 mm и длабочина од 2000 mm околу неа, како и тивките кранови, ефикасно ги изолираат надворешните пречки од вибрации и ја обезбедуваат точноста на обработката на основата на машината.
Покрај тоа, ZHHIMG® има и силна можност за прилагодување. За посебните барања на полупроводничката опрема, прецизните отвори за инсталација и каблите можат да бидат претходно изработени за да се постигне совршена компатибилност помеѓу опремата и основата. Во исто време, во комбинација со опрема за метрологија и тестирање од светска класа, како што се германскиот минутен мерач Mahr (со точност од 0,5 μm) и швајцарското електронско ниво WYLER, основата на машината е строго проверена и калибрирана за да се осигури дека секоја основа на машината може да ги исполни строгите барања на полупроводничката опрема за точност на ниво под микрон.
Токму комбинацијата од овие предности ја прави гранитната основа ZHHIMG® сигурен избор за постигнување субмикронска прецизност во полупроводничката опрема, помагајќи производството на полупроводници да се движи кон полиња со поголема прецизност.
Време на објавување: 18 јуни 2025 година