Во областа на инспекција на полупроводнички плочки, чистотата на чистата просторија е директно поврзана со приносот на производот. Како што прецизноста на процесите на производство на чипови продолжува да се подобрува, барањата за платформите за носење на опремата за детекција стануваат сè построги. Гранитните платформи, со нивните карактеристики на нула ослободување на метални јони и ниско загадување на честички, ги надминаа традиционалните материјали од не'рѓосувачки челик и станаа претпочитано решение за опрема за инспекција на плочки.
Гранитот е природна магматска карпа составена главно од неметални минерали како што се кварц, фелдспат и мика. Оваа карактеристика му дава предност на нула ослободување на метални јони. Спротивно на тоа, не'рѓосувачкиот челик, како легура на метали како што се железо, хром и никел, е склонен кон електрохемиска корозија на својата површина поради ерозијата на водена пареа и кисели или алкални гасови во чиста просторија, што резултира со таложење на метални јони како што се Fe²⁺ и Cr³⁺. Откако овие мали јони ќе се закачат на површината на плочата, тие ќе ги променат електричните својства на полупроводничкиот материјал во последователните процеси како што се фотолитографија и бакирање, ќе предизвикаат праг на напонско поместување на транзисторот, па дури и ќе доведат до кратки споеви во колото. Податоците од тестовите од професионални институции покажуваат дека откако гранитната платформа била континуирано изложена на симулирана средина со температура и влажност во чиста просторија (23±0,5℃, 45%±5% RH) во тек на 1000 часа, ослободувањето на метални јони било пониско од границата на детекција (< 0,1ppb). Стапката на дефекти на плочките предизвикана од контаминација со метални јони при употреба на платформи од не'рѓосувачки челик може да достигне 15% до 20%.
Во однос на контролата на контаминацијата со честички, гранитните платформи исто така се исклучително добри. Чистите простории имаат екстремно високи барања за концентрација на суспендирани честички во воздухот. На пример, во чистите простории ISO Класа 1, бројот на честички од 0,1 μm дозволени на кубен метар не надминува 10. Дури и ако платформата од не'рѓосувачки челик е подложена на третман за полирање, таа сепак може да произведе метални остатоци или лупење на оксидна бигор поради надворешни сили како што се вибрации на опремата и работа на персоналот, што може да се меша со оптичкиот пат на детекција или да ја изгребе површината на плочата. Гранитните платформи, со нивната густа минерална структура (густина ≥2,7 g/cm³) и висока тврдост (6-7 на Мосовата скала), не се склони кон абење или кршење за време на долготрајна употреба. Измерените мерења покажуваат дека тие можат да ја намалат концентрацијата на суспендирани честички во воздухот во областа на опремата за детекција за повеќе од 40% во споредба со платформите од не'рѓосувачки челик, ефикасно одржувајќи ги стандардите за чисти простории.
Покрај чистите карактеристики, сеопфатните перформанси на гранитните платформи далеку ги надминуваат оние на не'рѓосувачкиот челик. Во однос на термичката стабилност, неговиот коефициент на термичка експанзија е само (4-8) ×10⁻⁶/℃, помалку од половина од оној на не'рѓосувачкиот челик (околу 17×10⁻⁶/℃), што може подобро да ја одржи точноста на позиционирањето на опремата за детекција кога температурата во чистата просторија флуктуира. Високата карактеристика на пригушување (сооднос на пригушување > 0,05) може брзо да ги намали вибрациите на опремата и да спречи тресење на сондата за детекција. Неговата природна отпорност на корозија ѝ овозможува да остане стабилна дури и кога е изложена на фоторезистни растворувачи, гасови за гравитација и други хемикалии без потреба од дополнителна заштита со премази.
Во моментов, гранитните платформи се широко користени во напредните погони за производство на плочки. Податоците покажуваат дека по усвојувањето на гранитната платформа, стапката на погрешна проценка на детекцијата на честички на површината на плочката се намалила за 60%, циклусот на калибрација на опремата е продолжен за три пати, а вкупните трошоци за производство се намалиле за 25%. Како што индустријата за полупроводници се движи кон поголема прецизност, гранитните платформи, со нивните основни предности како што се нула ослободување на метални јони и ниско загадување на честички, ќе продолжат да обезбедуваат стабилна и сигурна поддршка за инспекција на плочката, станувајќи важна сила што го движи напредокот на индустријата.
Време на објавување: 20 мај 2025 година