Во производството на полупроводници, фотолитографскиот апарат е клучен уред што ја одредува прецизноста на чиповите, а гранитната основа, со своите повеќекратни карактеристики, стана неопходна компонента на фотолитографскиот апарат.
Термичка стабилност: „Штитот“ од промени на температурата
Кога машината за фотолитографија работи, таа генерира голема количина на топлина. Дури и температурна флуктуација од само 0,1℃ може да предизвика деформација на компонентите на опремата и да влијае на точноста на фотолитографијата. Коефициентот на термичка експанзија на гранитот е исклучително низок, само 4-8 ×10⁻⁶/℃, што е приближно 1/3 од оној на челикот и 1/5 од оној на алуминиумската легура. Ова ѝ овозможува на гранитната основа да одржува димензионална стабилност кога машината за фотолитографија работи долго време или кога се менува температурата на околината, обезбедувајќи прецизно позиционирање на оптичките компоненти и механичките структури.
Супер антивибрациски перформанси: „Сунѓерот“ што ги апсорбира вибрациите
Во фабрика за полупроводници, работата на околната опрема и движењето на луѓето можат да генерираат вибрации. Гранитот има висока густина и тврда текстура, а има и одлични својства на пригушување, со коефициент на пригушување од 2 до 5 пати поголем од металите. Кога надворешните вибрации се пренесуваат на гранитната основа, триењето помеѓу внатрешните минерални кристали ја претвора енергијата на вибрациите во топлинска енергија за дисипација, што може значително да ги намали вибрациите за кратко време, овозможувајќи му на фотолитографскиот апарат брзо да ја врати стабилноста и да избегне замаглување или нерамномерно порамнување на фотолитографскиот образец поради вибрации.
Хемиска стабилност: „Чувар“ на чиста животна средина
Внатрешноста на фотолитографскиот апарат доаѓа во контакт со разни хемиски медиуми, а обичните метални материјали се склони кон корозија или ослободување на честички. Гранитот е составен од минерали како што се кварц и фелдспат. Има стабилни хемиски својства и силна отпорност на корозија. По потопување во киселински и алкални раствори, површинската корозија е исклучително мала. Во меѓувреме, неговата густа структура речиси и да не генерира остатоци или прашина, исполнувајќи ги барањата на највисоките стандарди за чисти простории и намалувајќи го ризикот од контаминација на плочките.
Прилагодливост на обработката: „Идеален материјал“ за креирање прецизни реперни точки
Основните компоненти на фотолитографскиот апарат треба да се инсталираат на високопрецизна референтна површина. Внатрешната структура на гранитот е униформна и лесно се обработува со екстремно висока прецизност преку брусење, полирање и други техники. Неговата рамност може да достигне ≤0,5μm/m, а површинската грубост Ra е ≤0,05μm, обезбедувајќи прецизна основа за инсталација на компоненти како што се оптичките леќи.
Долг век на траење и без одржување: „Остри алатки“ за намалување на трошоците
Во споредба со металните материјали кои се склони кон замор и пукање при долготрајна употреба, гранитот тешко претрпува пластична деформација или кршење под нормални оптоварувања и не бара површинска обработка, со што се избегнува ризикот од лупење и контаминација на премазот. Во практични апликации, по долгогодишна употреба, клучните индикатори за перформанси на гранитната основа можат да останат стабилни, намалувајќи ги трошоците за работа и одржување на опремата.
Од термичка стабилност, отпорност на вибрации до хемиска инертност, повеќекратните карактеристики на гранитната основа совршено ги задоволуваат барањата на фотолитографскиот апарат. Како што процесот на производство на чипови продолжува да се развива кон поголема прецизност, гранитните бази ќе продолжат да играат незаменлива улога во областа на производството на полупроводници.
Време на објавување: 20 мај 2025 година