Во областа на висококвалитетното производство и најсовремените научни истражувања, ултрапрецизниот модул за движење на воздушниот пловак стана клучна опрема за прецизно работење и мерење со своите одлични прецизни перформанси. Гранитната прецизна основа, како потпорно јадро, има строги барања за работната средина, а соодветните услови на животната средина се основа за обезбедување на нејзини стабилни перформанси и најдобар ефект.
Прво, контрола на температурата: прецизен „стабилизатор“
Иако гранитот е познат по својата стабилност, тој не е целосно имун на температурни промени. Иако неговиот коефициент на термичка експанзија е низок, генерално 5-7 ×10⁻⁶/℃, во сценарија со ултрапрецизна контрола на движењето, суптилните температурни флуктуации сепак можат да предизвикаат димензионални промени и да влијаат на точноста на модулот. Во работилницата за производство на полупроводнички чипови, процесот на литографија бара точност на позиционирање на ниво на данами, а температурата на околината флуктуира за 1°C, а гранитната основа со должина на страна од 1 метар може да произведе линеарно ширење или контракција од 5-7 микрони. Оваа мала промена се пренесува преку ултрапрецизниот модул за движење на воздушниот пловак, што е доволно за да се направи отстапување на шемата на литографијата на чипот и значително да се намали приносот. Затоа, опремен со гранитна прецизна основа на воздушниот лебдечки ултрапрецизен модул за движење, идеалната работна температура треба да се контролира на 20 °C ± 1 °C, со помош на високопрецизна опрема за константна температура, како што е систем за климатизација со константна температура и влажност, континуирано следење и прилагодување на температурата на околината, за да се обезбеди дека температурните флуктуации се во многу мал опсег, одржувајќи ја стабилноста на големината на основата, за да се обезбеди високопрецизно работење на модулот.
Второ, управување со влажноста: клучот за заштита од влага „камен“
Влажноста е уште еден важен фактор што влијае на перформансите на прецизната гранитна основа. Во средина со висока влажност, гранитот лесно апсорбира водена пареа, што може да доведе до кондензација на површината, што не само што влијае на стабилноста на врската на гранитот и ултрапрецизниот модул за движење на воздушниот пловак, туку може да предизвика и ерозија на површината и да го намали сјајот и точноста на долг рок. Во работилницата за мелење оптички леќи, ако влажноста е поголема од 60% RH подолго време, водената пареа адсорбирана на површината на гранитната основа ќе се меша со движењето на лизгачот на гасниот пловак, така што точноста на мелењето на леќите ќе се намали, а површината ќе се оштети. Затоа, релативната влажност на работната средина треба строго да се контролира помеѓу 40%-60% RH, што може да се следи и прилагодува во реално време со инсталирање на одвлажнувачи, сензори за влажност и друга опрема за да се избегне оштетување на гранитната основа поради висока влажност и да се обезбеди непречено функционирање на ултрапрецизниот модул за движење на воздушниот пловак.
Трето, гаранција за чистота: „чувар“ на прецизноста
Штетата од честичките прашина врз прецизната гранитна основа на ултрапрецизниот модул за движење на воздушната флотација не може да се потцени. Откако ситните честички ќе влезат во празнината на гасниот филм помеѓу лизгачот на гасниот пловак и гранитната основа, тие можат да ја уништат униформноста на гасниот филм, да го зголемат триењето, па дури и да ја изгребат површината на основата, што резултира со намалена точност на движењето. Во работилницата за ултрапрецизна обработка на воздухопловни делови, ако честичките прашина во воздухот паднат врз гранитната основа, траекторијата на движење на алатката за обработка може да се отстапи, што ќе влијае на точноста на обработката на деловите. Затоа, работната површина треба да се одржува високо чиста, достигнувајќи 10.000 или дури и повисоки нивоа на стандарди за чистота, преку инсталирање на опрема за прочистување на воздухот, како што се високоефикасни филтри за воздух (HEPA), кои ги филтрираат честичките прашина во воздухот, во исто време, персоналот треба да носи облека без прашина, навлаки за чевли итн., за да се намали прашината донесена од луѓето. Одржувајте високопрецизна работна средина на гранитната основа и ултрапрецизниот модул за движење на воздушната флота.
Четврто, изолација на вибрации: непречено функционирање на „акрос-перничето“
Надворешните вибрации се непријател на прецизноста на ултрапрецизниот модул за движење на воздушниот пловак. Иако прецизната гранитна основа има одредена способност за атенуирање на вибрациите, вибрациите со висока јачина сепак може да ја надминат својата тампон граница. Вибрациите генерирани од сообраќајот околу фабриката и работата на голема механичка опрема се пренесуваат до гранитната основа преку земјата, што ќе се меша со точноста на движењето на ултрапрецизниот модул за движење на воздушниот пловак. Во high-end CMM, вибрациите може да предизвикаат контактот помеѓу мерната сонда и мерното парче да биде нестабилен, што резултира со отстапување на податоците од мерењето. За да се реши овој проблем, потребно е да се усвојат ефикасни мерки за изолација на вибрации, како што се поставување подлоги за изолација на вибрации во просторијата за инсталација на опремата, изградба на темели за изолација на вибрации или користење на активен систем за изолација на вибрации за активно неутрализирање на надворешните вибрации и создавање тивка и стабилна работна средина за гранитната прецизна основа и ултрапрецизниот модул за движење на воздушниот пловак.
Само со целосно исполнување на еколошките барања за температура, влажност, чистота и контрола на вибрациите, гранитната прецизна основа на ултрапрецизниот модул за движење на воздушниот пловак може целосно да ги искористи своите перформанси, да обезбеди сигурна гаранција за ултрапрецизни операции во различни области и да ѝ помогне на индустријата да се движи кон повисоко ниво на прецизно производство и научно истражување.
Време на објавување: 08.04.2025