Во областите на прецизно производство и научни истражувања, рамноста на гранитните прецизни платформи е клучен индикатор за обезбедување на точноста на опремата. Следново е детален вовед во неколку главни методи на детекција и нивните процедури за работа за вас.
I. Метод на детекција со ласерски интерферометар
Ласерскиот интерферометар е претпочитаната алатка за високопрецизно откривање на рамномерност. Земете го ласерскиот интерферометар ZYGO GPI XP како пример, неговата резолуција може да достигне 0,1 nm. При спроведување на откривањето, прво усогласете го изворот на светлина на интерферометарот со платформата и поделете ја површината на платформата на мрежести области од 50 mm × 50 mm. Потоа, податоците за интерферентните ленти беа собрани точка по точка, а податоците беа прилагодени и анализирани со помош на Зернике полиномот за да се добие грешката на рамномерност. Овој метод е применлив на платформи со висока прецизност и може да открие грешки во рамномерноста од ≤0,5 μm/m². Најчесто се користи во откривањето на фотолитографски машини и висококвалитетни платформи за мерење со три координати.
II. Метод на електронски низа на нивоа
Детекцијата со електронски низа за нивелирање е едноставна за ракување и многу ефикасна. Електронскиот низа TESA A2 (со резолуција од 0,01μm/m) е избран и распореден во низа 9×9 по должината на насоката на X/Y оската на платформата. Со синхроно собирање на податоците за наклон на секое ниво, а потоа со користење на методот на најмали квадрати за пресметка, вредноста на рамнината може точно да се добие. Овој метод може ефикасно да ги идентификува локалните услови на конкавност и конвексност на платформата. На пример, може да се открие и флуктуација од 0,2μm во опсег од 50 mm, што е погодно за брзо откривање во масовно производство.
Iii. Метод на оптички рамен кристал
Методот со оптички рамен кристал е погоден за детекција на платформи со мала површина. Цврсто прицврстете го оптичкиот рамен кристал на површината што треба да се тестира на платформата и набљудувајте ги интерферентните ленти формирани меѓу нив под осветлување на монохроматски извор на светлина (како што е натриумска ламба). Ако лентите се паралелни прави ленти, тоа укажува на добра рамномерност. Ако се појават закривени ленти, пресметајте ја грешката на рамномерност врз основа на степенот на закривеност на лентите. Секоја закривена лента претставува висинска разлика од 0,316 μm, а податоците за рамномерноста може да се добијат преку едноставна конверзија.
Четири. Метод на инспекција на машина за мерење со три координати
Трикоординатната машина за мерење може да постигне високопрецизни мерења во тродимензионален простор. Поставете ја гранитната платформа на работната маса на мерната машина и користете ја сондата за рамномерно собирање податоци од повеќе мерни точки на површината на платформата. Системот на мерната машина ги обработува и анализира овие податоци за да генерира извештај за рамномерност на платформата. Овој метод не само што може да ја детектира рамномерноста, туку и истовремено да добие други геометриски параметри на платформата и е погоден за сеопфатно откривање на големи гранитни платформи.
Совладувањето на овие методи на детекција може да ви помогне прецизно да ја процените рамноста на гранитната прецизна платформа и да обезбедите сигурна гаранција за стабилно работење на прецизната опрема.
Време на објавување: 29 мај 2025 година