Во работилницата за производство на полупроводници, барањата на процесот на производство на чипови за условите на животната средина и точноста на опремата се екстремни, а секое мало отстапување може да доведе до значително намалување на приносот на чипот. Платформата за прецизно движење на портали XYZT се потпира на гранитни компоненти за соработка со други делови од платформата за да изгради солидна основа за постигнување на наноскална точност.
Одлични својства за блокирање на вибрации
Во работилницата за производство на полупроводници, работата на периферната опрема и персоналот што се движи наоколу може да предизвика вибрации. Внатрешната структура на гранитните компоненти е густа и униформа, со природни високи карактеристики на пригушување, како ефикасна „бариера“ на вибрации. Кога надворешните вибрации се пренесуваат на платформата XYZT, гранитната компонента може ефикасно да ослаби повеќе од 80% од енергијата на вибрациите и да го намали пречките на вибрациите врз точноста на движењето на платформата. Во исто време, платформата е опремена со високопрецизен систем за водење на воздушна пловка, кој работи заедно со гранитните компоненти. Водилката за воздушна пловка користи стабилен гасен филм формиран од гас под висок притисок за да го реализира бесконтактното движење на суспензијата на подвижните делови на платформата и да ги намали малите вибрации предизвикани од механичко триење. Заедно, двете обезбедуваат точноста на позиционирањето на платформата секогаш да се одржува на нанометарско ниво во клучни процеси како што се литографија на чипови и бакирање, и да се избегне отстапувањето на шемите на чип кола предизвикани од вибрации.
Одлична термичка стабилност
Флуктуацијата на температурата и влажноста во работилницата има големо влијание врз точноста на опремата за производство на чипови. Коефициентот на термичка експанзија на гранитот е многу низок, генерално 5-7 × 10⁻⁶/℃, големината е речиси непроменета кога температурата се менува. Дури и ако температурната разлика помеѓу денот и ноќта во работилницата или производството на топлина на опремата предизвикаат флуктуации на температурата на околината, компонентите на гранитот можат да останат стабилни за да се спречи деформација на платформата поради термичка експанзија и контракција. Во исто време, интелигентниот систем за контрола на температурата опремен со платформата ја следи температурата на околината во реално време, автоматски ја прилагодува опремата за климатизација и дисипација на топлина и ја одржува температурата на работилницата на 20 °C ± 1 °C. Во комбинација со предностите на топлинската стабилност на гранит, се обезбедува платформата при долготрајно работење, точноста на движењето на секоја оска секогаш ги исполнува стандардите за прецизност на нанометри за производство на чипови, за да се обезбеди точна големина на моделот на литографијата на чипот, а длабочината на гравирање е униформна.
Задоволете ги потребите за чиста животна средина
Работилницата за производство на полупроводници треба да одржува висок степен на чистота за да се спречи контаминација на чипот со честички прашина. Самиот гранит не произведува прашина, а површината е мазна и не е лесна за апсорпција на прашина. Платформата како целина има целосно затворен или полузатворен структурен дизајн за да се намали влегувањето на надворешна прашина. Внатрешниот систем за циркулација на воздухот е поврзан со системот за чиста климатизација на работилницата за да се обезбеди чистотата на внатрешниот воздух да го достигне нивото потребно за производство на чипови. Во оваа чиста средина, гранитните компоненти нема да влијаат на перформансите поради ерозија на прашина, а клучните компоненти како што се високопрецизните сензори и мотори на платформата исто така можат да работат стабилно, обезбедувајќи континуирана и сигурна гаранција за точност на наноскала за производство на чипови и помагајќи ѝ на полупроводничката индустрија да се движи на повисоко ниво на процеси.
Време на објавување: 14 април 2025 година